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一种蚀刻方法，其特征在于，使用根据权利要求1至7中任一项所述的蚀刻液，在铜的存在下选择性地蚀刻钛。蚀刻液及蚀刻方法技术领域[0001]本发明涉及一种用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法。背景技术[0002]以往，在蚀刻钛时一直使用含有氢氟酸或过氧化氢的蚀刻液。例如文献1中提出了一种钛的蚀刻液，该钛的蚀刻液是用来在铜或铝的存在下蚀刻钛，并且该蚀刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的过氧化氢、0.05重量％至5重量％的磷酸、0.001重量％至0，浙江如何发展BOE蚀刻液按需定制.1重量％的膦酸系化合物及氨所构成的水溶液将pH值调整为7至9，浙江如何发展BOE蚀刻液按需定制。[0003]但是，浙江如何发展BOE蚀刻液按需定制，含有氢氟酸的蚀刻液存在毒性高BOE蚀刻液如何配置，欢迎咨询。浙江如何发展BOE蚀刻液按需定制
微蚀液包括过硫酸钠/硫酸体系和双氧水/硫酸体系，在近几年的运用在PCB之表面处理制程，例如：沉铜（PTH)制程，电镀制程、内层前处理、绿油前处理、OSP处理等生产线。我们公司目前对过硫酸钠/硫酸和双氧水/硫酸两种体系的微蚀工序研发设计了不同的循环再生设备。无论是过硫酸钠/硫酸体系还是双氧水/硫酸体系,我司设备均可把饱和微蚀液处理再生后，返回客户生产线继续使用，回用时，不改变客户原生产工艺参数；在运行我们公司设备时可不停机亦可更换药水，从而达到稳定生产的目的。这两种体系再生设备设备不仅可以节省约30%的物料成本，还降低废水处理成本，且可以电解出金属铜。二、蚀刻液再生循环系统在电子线路版（PCB）蚀刻过程中，蚀刻液中的铜含量渐渐增加。蚀刻液要达到的蚀刻效果，每公升蚀刻液需含120至180克铜及相应分量的蚀刻盐（NH4CI）及氨水（NH3）。要持续蚀刻液中上述各种成份的浓度水平，蚀刻用过后的（以下称[用后蚀刻液]）溶液需不断由添加的药剂所取缔。本系统将大量原本需要排放的用后蚀刻液再生还原成为可再次使用的再生蚀刻液。只需极少量的补充剂及氨水，补偿因运作时被带走而失去的部份。从而取代蚀刻子液，既可达到蚀刻工艺的要求。安徽专业BOE蚀刻液销售价格苏州博洋化学股份有限公司，蚀刻液专业生产商。
微蚀刻液循环再生设备在使用中不但使微蚀刻工序基本实现污染零排放，并产出纯度高、价值高的电解金属铜。 一、微蚀液包括过硫酸钠/硫酸体系和双氧水/硫酸体系，在近几年的运用在PCB之表面处理制程，例如：沉铜（PTH)制程，电镀制程、内层前处理、绿油前处理、OSP处理等生产线。 我们公司目前对过硫酸钠/硫酸和双氧水/硫酸两种体系的微蚀工序研发设计了不同的循环再生设备。 无论是过硫酸钠/硫酸体系还是双氧水/硫酸体系,我司设备均可把饱和微蚀液处理再生后，返回客户生产线继续使用，回用时，不改变客户原生产工艺参数；在运行我们公司设备时可不停机亦可更换药水，从而达到稳定生产的目的。
多级逆流萃取CWL-M系列离心萃取机是郑州天一萃取科技有限公司自主研发生产的新型、快速、高效的液液萃取分离设备，主要应用于萃取、反萃、水洗、碱洗、酸洗等洗涤段的操作单元。离心萃取机的优势在于易维护、处理量大、功耗低、材质耐腐蚀等，同时克服了传统萃取设备不易维护、故障频繁等难题，被应用于化工、湿法冶金、环保等众多领域。多级逆流萃取目前用的比较多的设备有：离心萃取机、萃取澄清槽、萃取塔。其中，取近几年推出的新型CWL-M离心萃取机是目前广为采用的，该系列离心萃取机处理量大、萃取效率高、可连续操作、分离效果较好、耐酸碱环境。主要有萃取法、金属置换法、电解还原法等，其中溶剂萃取法通过萃取工艺技术可有效分离废液中的镍离子，使镍得到回收，废液得到再生经济价值高，回收效果好。目前用的比较多的设备有：离心萃取机、萃取澄清槽、萃取塔。其中，郑州天一萃取近几年推出的新型CWL-M离心萃取机是目前广为采用的。该系列离心萃取机处理量大、萃取效率高、可连续操作、分离效果较好、耐酸碱环境。主要有萃取法、金属置换法、电解还原法等，其中溶剂萃取法通过萃取工艺技术可有效分离废液中的镍离子，使镍得到回收，废液得到再生经济价值高。BOE蚀刻液的溶液配比。
蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wetetching)和干蚀刻(dryetching)两类。湿蚀刻就是利用合适的化学溶液腐蚀去除材质上未被光阻覆盖（感光膜）的部分，达到一定的雕刻深度。蚀刻精度高，则可以完成精度要求更高的精细零件的加工，扩大蚀刻应用的范围。目前已经使用的蚀刻液类型有六种类型：酸性氯化铜，碱性氯化铜，氯化铁，过硫酸铵，硫酸/铬酸，硫酸/双氧水蚀刻液。常用的化学药水，硝酸、氢氟酸等。苏州博洋化学股份有限公司拥有专业的BOE蚀刻液以及各种蚀刻液。浙江应用BOE蚀刻液推荐厂家
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根据权利要求1至3中任一项所述的蚀刻液，其特征在于，进一步含有α-羟基羧酸和/ 或α-羟基羧酸的盐。 根据权利要求4所述的蚀刻液，其特征在于，所述α-羟基羧酸为选自由酒石酸、苹果酸、柠檬酸、乳酸及甘油酸所组成的群组中的至少一种。 根据权利要求1至5中任一项所述的蚀刻液，其特征在于，所述酸的浓度为20重量％至70重量％；所述有机硫化合物的浓度为0.01重量％至10重量％。 根据权利要求4至6中任一项所述的蚀刻液，其特征在于，所述α-羟基羧酸和/或α-羟基羧酸的盐的浓度为0.2重量％至5重量％。浙江如何发展BOE蚀刻液按需定制
苏州博洋化学股份有限公司成立于1999年，公司座落于苏州市高新区化工工业园，是一家集研发、生产、销售为一体的大型精细化工企业，主要为先进半导体封装测试、TFT、FPD平板显示、LED、晶体硅太阳能、PCB等行业提供专业的化学品解决方案。努力构建面向未来的创新型和学习型企业。博洋股份于2015年11月在全国中小企业股份转让系统成功挂牌。（证券代码：834329）拥有先进的理化分析、应用测试仪器以及一支以本科、硕士、博士为主的多层次研发团队，致力于超净高纯、功能性微电子化学品的研究开发;并根据客户的个性化需求量身定制整套化学品解决方案，力求持续的为客户创造价值。博洋除拥有完善的自主研发能力外，与华东理工大学共同建立省级研究生工作站;长期保持与苏州大学、中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的合作关系，以辅助新产品的开发测试。对新技术、新工艺的研究精益求精，立志成为微电子材料领域个性化解决方案的***
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